的实施例总体涉及半导体领域,更具体地,涉及集成电路及其形成方法。背景技术:许多现代电子器件包含配置为存储数据的电子存储器。电子存储器可以是易失性存储器或非易失性存储器。易失性存储器在上电时存储数据,而非易失性存储器能够在断开电源时存储数据。磁阻式随机存取存储器(mram)是用于下一代非易失性存储器技术的一种有前景的候选。技术实现要素:根据的一个方面,提供了一种集成芯片,包括:工作磁隧道结(mtj)器件,连接至位线,其中,所述工作磁隧道结器件被配置为存储数据状态;以及调节访问装置,连接在所述工作磁隧道结器件和字线之间,其中,所述调节访问装置包括被配置为控制提供给所述工作磁隧道结器件的电流的一个或多个调节磁隧道结器件。根据的另一个方面,提供了一种集成电路,包括:互连层,布置在衬底上方的介电结构内,其中,所述互连层通过所述介电结构与所述衬底分隔开;以及工作mtj器件,布置在所述互连层正上方并且被配置为存储数据状态,其中,所述工作mtj器件通过包括多个互连层且不延伸穿过所述衬底的连续导电路径电连接在位线和字线之间。根据的又一个方面,提供了一种形成集成电路的方法。包括:在衬底上方形成互连层。集成电路产品是信息产业的基础,直接关乎社会的稳定与国家的安全。重庆专业控制集成电路选哪家
提供的通过mtj器件的电流必须大于切换电流(即,临界切换电流)。不大于切换电流的电流将不会导致电阻状态之间的切换,并且因此不会将数据写入存储器阵列内的mtj器件。在一些实施例中。公开的写入操作可以在调节mtj器件(例如,图中的至)处于高电阻状态来实施,以在选择和未选择的单元之间提供隔离。a的示意图所示,写入操作的步骤通过将数据状态写入存储器阵列的行中的存储单元a,和第三存储单元a,内的工作mtj器件来实施。通过将非零偏置电压v(例如,v)施加至字线wl和wl,将非零偏置电压v(例如,v)施加至字线wl,将第三非零偏置电压v(例如,v)施加至位线bl和bl,并且将第四非零偏置电压v(例如,v)施加至位线bl来实施写入操作的步骤。非零偏置电压v(例如,v)和第三非零偏置电压v(例如,v)之间的差异使得电流i流过存储单元a,和第三存储单元a,内的调节mtj器件。电流i小于切换电流isw,使得存储单元a,和第三存储单元a,内的调节mtj器件的状态不变。然而,来自调节mtj器件的电流加在一起,使得为电流i的两倍的电流流过存储单元a,和第三存储单元a,内的工作mtj器件。电流i的两倍的电流大于切换电流isw,以将数据状态写入存储单元a,和第三存储单元a,内的工作mtj器件。存储单元a。太原单极型集成电路分类深圳美信美集成电路服务好。
下基板上的上层金属层、下层金属层以及上层金属层上联结pad、,下层金属层上的联结pad、、、6。上基板与下基板联结用的沉金、。深圳市美信美科技有限公司于年月日成立。公司经营范围包括:一般经营项目是:电子产品及其配件的技术开发与销售;国内贸易等。本公司主营推广销售AD(亚德诺),LINEAR(凌特)以及TI、MAXIM、NXP等国际有名品牌集成电路。产品广泛应用于:汽车、通信、消费电子、工业控制、医疗器械、仪器仪表、安防监控等领域。下基板的上层金属层、下层金属层通孔沉金、,用于中间填充层的,上基板中间层、下基板中间层。图示出依据本申请一实施例的双芯片集成电路封装结构,包括上基板、元件、元件及下基板,上基板上的上层金属层、下层金属层6以及下层金属层6上的联结pad、、、,下基板上的上层金属层、下层金属层以及上层金属层上的pad、、、6,下层金属层上的联结pad、、、、、联结pad。上基板与下基板联结用的沉金、。下基板的上层金属层、下层金属层通孔沉金、6、、,用于中间填充层的,上基板中间层、下基板中间层。以上所述实施例用以说明本申请的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明。
字线解码器被配置为选择性地将信号施加至连接至存储器阵列的一条或多条字线wl至wl,并且位线解码器被配置成选择性地将信号施加至连接至存储器阵列的一条或多条位线bl至bl。通过选择性地将信号施加至一条或多条字线wl至wl和一条或多条位线bl至bl,可以在相互排斥的情况下选择性地访问多个工作mtj器件中的不同工作mtj器件。例如,图a至图b示出了图的存储器电路的写入操作的一些实施例的示意图和。示意图和所示的写入操作是实施写入操作的方法的非限制性实例。在其它实施例中,可以可选地使用实施写入操作的其它方法。图a至图b中示出的写入操作在步骤。图a所示)期间将数据状态写入至存储器阵列的一行中的一个或多个存储单元,并且在随后的步骤(图b所示)期间将数据状态写入至存储器阵列的该行中的一个或多个存储单元,以使用两步工艺将数据写入至存储器阵列的整个行。应该理解,为了将数据写入mtj器件。提供的通过mtj器件的电流必须大于切换电流(即,临界切换电流)。不大于切换电流的电流将不会导致电阻状态之间的切换,并且因此不会将数据写入存储器阵列内的mtj器件。在一些实施例中。公开的写入操作可以在调节mtj器件(例如,图中的至)处于高电阻状态来实施。深圳美信美提供靠谱的集成电路芯片。
多个导电互连层a至c可以包括铜、铝、钨、碳纳米管等。存储单元a,和存储单元b,分别包括调节访问装置和工作mtj器件。调节访问装置连接至限定多条字线wl至wl的互连层a。多条字线wl至wl中的两个连接至图的存储器阵列的一行内的相应存储单元。例如,字线wl至wl可以连接至行中的存储单元a,,并且字线wl至wl可以连接至行中的存储单元b,。在一些实施例中,多条字线wl至wl可以与衬底分隔开非零距离d。互连层b布置在调节访问装置和工作mtj器件之间。工作mtj器件进一步连接至限定位线bl的第三互连层c。位线bl连接至布置在存储器阵列的一列内的存储单元内的工作mtj器件。例如。位线bl连接至图的存储器阵列的列内的工作mtj器件。在一些实施例中,工作mtj器件通过包括多个导电互连层a至c并且不延伸穿过衬底的连续导电路径连接在位线blz(z=,)和字线wlx(x=,)之间。在一些实施例中,工作mtj器件不位于被配置为控制对工作mtj器件的访问的存取晶体管器件正上方。在一些实施例中。调节访问装置包括调节mtj器件和调节mtj器件。调节mtj器件、调节mtj器件和工作mtj器件分别包括垂直布置在底电极通孔和顶电极通孔之间的mtj。在一些实施例中,顶电极通孔可以通过通孔(例如。集成电路行业作为全球信息产业的基础,是世界电子信息技术创新的基石。珠海小规模集成电路IC
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偏置电路和字线解码器可以将电压施加至偏置电压线bvly和字线wlx,以设置存储器阵列的行内的调节mtj器件的值。随后,位线解码器可以施加位线电压,该位线电压允许访问多个存储单元a,至c,中的选择的存储单元,而不访问多个存储单元a,至c,中的未选择的存储单元。例如,为了将数据写入存储单元a,内的工作mtj器件,可以将组偏置电压施加至字线wl和偏置电压线bvl。组偏置电压赋予行内的调节访问装置低电阻。可以将组偏置电压施加至其它行中的偏置电压线bvl和字线wl,以赋予其它行内的调节访问装置高电阻。然后将位线电压施加至位线bl。存储单元a,内的调节访问装置的低电阻使得大电流(例如。大于切换电流)流过存储单元a,内的工作mtj器件,同时存储单元a,内的调节访问装置的高电阻使得小电流(例如,小于切换电流)流过存储单元a,内的工作mtj器件。图b示出了对应于图a的存储器电路的集成电路的一些实施例的截面图。图a至图b示出了包括存储器电路的集成芯片的一些额外实施例,该存储器电路具有被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问的调节访问装置。图a示出了具有以行和列布置的多个存储单元a,至c,的存储器电路的一些额外实施例的示意图。多个存储单元a,至c。重庆专业控制集成电路选哪家